微机械制造技术

在机械装置的小型化过程中出现两类机械，即小型机械和微型机械。可以这样划分：10mm～1mm为小型机械,用精密加工的方法可以制造出来;1mm～1um为微型机械,需要用硅微加工技术或LIGA技术等微细加工方法才能制造出来；1um～1nm为纳米机械,是分子级的

零件,需采用生物工程的方法制造。
微型机械不是传统机械的简单微型化，而是指集微型机构、微型传动器以及信号处理和控制电路，甚至外围接口电路、通讯电路和电源等于一体的微型机电系统。因此，微型机械远远超出了传统机械的概念和范畴，是基于现代科学技术，用崭新的思维方法指导的产物。